化学机械抛光机 (CMP)

KemCol 15 机台是化学机械抛光 (CMP) 的理想选择, 也适合应用 氧化铈 基的抛光用途。该机由广范应用的科密特15研磨和抛光机台改装, 采用不锈钢元件替代涂漆的组件, 以延长使用寿和无污染的抛光。它带有标准的集成科密特 AkuDisp 完全可编程蠕动泵系统和陶瓷面或不锈钢修整调节环。Kemcol 15 系统最初被开发为医疗部门的一个超精加工的过程, 但现在也使用在注塑模具抛光工业, 蓝宝石抛光和许多其他。它能够在钴铬、不锈钢、钛和其他许多材料上产生无划痕的镜面表面。

化学机械抛光机 (CMP)

  • 不锈钢工作台围绕着抛光垫
  • 抛光的不锈钢轭, 便于清洗
  • 不锈钢驱动盘
  • 铝合金提卸式研磨盘系统可选
  • 陶瓷或不锈钢修整调节环,用于无污染抛光
  • AkuDisp 全可编程蠕动泵机组为标准安装
  • 适用于科密特磁性抛光垫系统, 便于更换垫件

KemCol 15 推荐配件 & 耗材

描述 代码
1套3个陶瓷面修整调节环 361522
不锈钢塑料面修整调节环 362235
380毫米不锈钢支撑盘 (用于抛光垫) 362033
380毫米铝合金提卸式盘 361001
380毫米铝合金提卸式驱动盘 361002
380毫米薄金属圆盘 (用于磁性系统) 342563
380毫米磁性圆盘 345773
CMP 浆料 5 公升 10 公升 20 公升
Col-K 600212 600238 600204
Col-K (NC) 600199 600239 600202
CMP polishing slurry
推荐耗材 代码
380毫米 CHEM-H化学 型聚氨酯抛光垫 341865
380 毫米PSU- M 纺织品布料为适合配用铈抛光液 341011
380毫米MRE 短拉毛抛光垫 341715